DosiTorr SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)系統(tǒng) ，屬于高精度真空測(cè)量設(shè)備，由電子控制模塊、連接線纜及測(cè)量單元組成，憑借磁懸浮無(wú)燈絲設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)寬量程（10?2 ~ 5×10?? mbar）、低漂移（年漂 < 1%）的真空檢測(cè)，適配半導(dǎo)體、科研等高潔凈真空?qǐng)鼍?。

DosiTorr SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計(jì)的替代品, 而是作為確保制造制程中計(jì)量完整性的基礎(chǔ)技術(shù). 透過(guò)提供高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的測(cè)量, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性, 提高半導(dǎo)體制造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應(yīng)用中的良率和產(chǎn)品質(zhì)量.

制造中真空測(cè)量的挑戰(zhàn): 離子真空計(jì)與電容真空計(jì)的污染與失真問(wèn)題 VS 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì) SRG 的穩(wěn)定測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)

離子真空計(jì)與電容真空計(jì)在真空干燥固化 ( Vacuum Dry, VCD) 及半導(dǎo)體離子注入 (Implantation) 制程中, 易受溫度, 制程物質(zhì)污染的影響, 面臨被污染和失真等問(wèn)題, 導(dǎo)致測(cè)量值不準(zhǔn)確和制程不穩(wěn)定. 上海伯東代理德國(guó) PH-Instruments 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)(Spinning Rotor Gauge, SRG) 作為更穩(wěn)定, 更精確且更具抗污染能力的替代方案,旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)在嚴(yán)苛的制程環(huán)境中能提供的性能, 有效提升制程可靠性和產(chǎn)品良率.

離子真空計(jì)的污染與測(cè)量失真

a. 燈絲降解與涂層污染: 制程污染物可能會(huì)分解并在燈絲或柵極表面形成固體涂層. 這種污染可能導(dǎo)致燈絲燒毀, 發(fā)射電流降低, 或抑制離子收集, 從而導(dǎo)致完全故障.

b. 濺射效應(yīng): 此現(xiàn)象會(huì)使電極材料脫落, 導(dǎo)致讀數(shù)不一致和不準(zhǔn)確, 并污染制程腔體.

c. 反應(yīng)性腐蝕: 制程氣體與傳感器材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng), 導(dǎo)致傳感器隨時(shí)間腐蝕和分解, 造成不可逆的破壞.

電容真空計(jì)易受制程污染物和溫度影響

電容式真空計(jì)膜片本質(zhì)上容易受到機(jī)械性能的任何物理或化學(xué)改變的影響. 溫度引起的測(cè)量誤差, 制程反應(yīng)性氣體與腐蝕, 冷凝與沉積, 顆粒積聚, 皆會(huì)直接影響膜片的行為, 進(jìn)而影響電容測(cè)量.

廈門(mén)太星SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)高精度測(cè)量原理

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)是一種高精度且穩(wěn)定的真空測(cè)量技術(shù), 核心感測(cè)組件是一個(gè)小型磁懸浮的鋼球, 透過(guò)管件連接到真空系統(tǒng)內(nèi). 在測(cè)量周期中, 這個(gè)球由一個(gè)可分離的驅(qū)動(dòng)組件加速到精確定義的轉(zhuǎn)速 (每秒數(shù)百轉(zhuǎn)).

一旦達(dá)到所需速度, 驅(qū)動(dòng)線圈斷電, 讓球自由旋轉(zhuǎn), 周?chē)鷼怏w分子對(duì)球體表面施加的壓力 (分子阻力) 會(huì)使其減速. 擷取線圈測(cè)量這個(gè)減速速率, 計(jì)算精確壓力. 壓力較高時(shí), 較高的氣體密度導(dǎo)致較大的分子阻力, 減速較快; 而較低的壓力導(dǎo)致阻力減小, 減速時(shí)間較長(zhǎng). 壓力與鋼球旋轉(zhuǎn)之減速率成正比.
P = Constant * D
P: 壓力; Constant: 常數(shù), 與鋼球半徑相關(guān); D: 鋼球旋轉(zhuǎn)減速率

廈門(mén)太星SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)性能特點(diǎn)

一 、固有的抗污染性和堅(jiān)固設(shè)計(jì): 德國(guó) PH-Instruments 超過(guò)20年設(shè)計(jì)制造 SRG 經(jīng)驗(yàn), 推出全金屬傳感器設(shè)計(jì)以及真空內(nèi)部沒(méi)有電氣穿透件的 DosiTorr 真空計(jì), 對(duì)機(jī)械應(yīng)力和腐蝕性介質(zhì)具有獨(dú)特的抵抗力. 暴露在真空中的部分是管中的鋼球. 這種堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其比熱燈絲或精細(xì)膜片顯著不易受污染.

二、高精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性: SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)以其高精度而聞名, 表現(xiàn)出的長(zhǎng)期穩(wěn)定性, 一些報(bào)告顯示校準(zhǔn)系數(shù)在 20年內(nèi)變化小于 0.2%.

下圖為初期使用離子真空計(jì) Ion gauge 受到制程氣體影響, 壓力值失真明顯飄移不穩(wěn)定; 替換為 SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)后, 穩(wěn)定測(cè)量制程真空壓力.

上圖: 使用離子真空計(jì)與旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)在同一制程腔體比較趨勢(shì), 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)表現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量

廈門(mén)太星SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)為制造中的嚴(yán)苛測(cè)量應(yīng)用提供解決方案

計(jì)量和校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn): 幾十年來(lái),SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)一直被計(jì)量和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室信賴為真空校準(zhǔn)的精密傳遞標(biāo)準(zhǔn). 它們提供 NIST 可追溯性, 確保關(guān)鍵應(yīng)用所需的測(cè)量一致性和可靠性. 這種能力使其可以在制程腔體中進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)使用, 以確保高真空計(jì)讀數(shù)的準(zhǔn)確性和制程機(jī)臺(tái)之間的一致性, 從而實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的制程結(jié)果與高稼動(dòng)率.

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)具有「NIST可追溯性」, 表示其在計(jì)量校正上的優(yōu)越性. 如果 SRG 足夠準(zhǔn)確和穩(wěn)定以校準(zhǔn)其他高真空計(jì), 那么它本身就具備了更苛刻的直接制程測(cè)量所需的質(zhì)量.

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計(jì)的替代品, 而是作為確保制造制程中計(jì)量完整性的基礎(chǔ)技術(shù). 透過(guò)提供高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的測(cè)量, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性, 提高半導(dǎo)體制造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應(yīng)用中的良率和產(chǎn)品質(zhì)量.

DosiTorr SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì) | PH-Instruments

廈門(mén)太星代理德國(guó) PH-Instruments DosiTorr是基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）技術(shù)的工藝用壓力計(jì)。其采用不銹鋼球體通過(guò)電磁力旋轉(zhuǎn)的簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，相比皮拉尼規(guī)（熱傳導(dǎo)）或電離規(guī)（電離效應(yīng)），不會(huì)對(duì)被測(cè)介質(zhì)產(chǎn)生影響，是高純工藝環(huán)境的理想選擇。即使在腐蝕性工藝環(huán)境中，DosiTorr仍能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度測(cè)量，這得益于SRG傳感器對(duì)沉積和腐蝕的抗性。

DosiTorr

超潔凈、高耐用、抗腐蝕的高真空壓力測(cè)量方案

核心優(yōu)勢(shì)：

可直接替換多數(shù)電離規(guī)（1:1兼容）

自主工作的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）

傳遞標(biāo)準(zhǔn)級(jí)精度

測(cè)量范圍：10 mbar 至 5×10?? mbar

100%線性輸出

"零"漂移（<1.5%/年）

抗腐蝕與沉積

可更換傳感器

超潔凈/無(wú)菌設(shè)計(jì)

真空腔內(nèi)無(wú)電子元件

與設(shè)備同壽命設(shè)計(jì)

24VDC供電

0-10VDC可配置輸出

典型應(yīng)用：

故障電離規(guī)替換

離子注入、干法蝕刻

在線真空絕緣監(jiān)測(cè)

技術(shù)說(shuō)明

DosiTorr是基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）技術(shù)的工藝用壓力計(jì)。其采用不銹鋼球體通過(guò)電磁力旋轉(zhuǎn)的簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，相比皮拉尼規(guī)（熱傳導(dǎo)）或電離規(guī)（電離效應(yīng)），不會(huì)對(duì)被測(cè)介質(zhì)產(chǎn)生影響，是高純工藝環(huán)境的理想選擇。即使在腐蝕性工藝環(huán)境中，DosiTorr仍能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度測(cè)量，這得益于SRG傳感器對(duì)沉積和腐蝕的抗性。

SRG技術(shù)工藝優(yōu)勢(shì)

SRG技術(shù)的高精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性已在真空計(jì)校準(zhǔn)領(lǐng)域（如電離規(guī)校準(zhǔn)）得到多年驗(yàn)證。如今，該技術(shù)以自主式工藝傳感器的形式呈現(xiàn)：

超高精度：0.1 mbar至1×10?? mbar范圍內(nèi)達(dá)讀數(shù)±1%

100%線性壓力讀數(shù)（與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)）

長(zhǎng)期穩(wěn)定性：年漂移率<1.5%

不銹鋼傳感器抗腐蝕與沉積

安全潔凈測(cè)量：/無(wú)熱輻射/無(wú)電離效應(yīng)

增強(qiáng)型工藝適配設(shè)計(jì)：

磁屏蔽：抗外部磁場(chǎng)干擾

強(qiáng)化磁懸浮系統(tǒng)：提升測(cè)量可靠性

集成溫度傳感器：自動(dòng)溫漂補(bǔ)償

更高轉(zhuǎn)速：降低振動(dòng)敏感性

SRG技術(shù)原理

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）基于氣體分子吸附-脫附導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子減應(yīng)，通過(guò)測(cè)量減速速率計(jì)算真空壓力。系統(tǒng)包含三大組件：

傳感器組件

磁性不銹鋼球體（傳感器核心）

安裝在連接真空系統(tǒng)的套管中

測(cè)量頭組件

通過(guò)電磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)懸浮/加速/測(cè)量

外置于真空系統(tǒng)

電子控制單元

傳感器控制與信號(hào)處理

產(chǎn)品系列

為滿足不同工藝需求，提供多種配置方案：

型號(hào) 特性說(shuō)明

DosiTorr標(biāo)準(zhǔn)版 傳感器、測(cè)量頭與電子單元一體化緊湊設(shè)計(jì)

CaliTorr 測(cè)量頭與電子單元可分離，支持450℃烘烤

DosiTorr擴(kuò)展版 分體式設(shè)計(jì)，適用于空間受限設(shè)備

DosiTorr配置版 專(zhuān)為電離規(guī)替換設(shè)計(jì)，提供"即插即用"電氣接口

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