COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺桿真空泵
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摘要
COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺桿真空泵，是工業(yè)真空處理的理想之選。無油設(shè)計確保潔凈，適配電子、化工、醫(yī)藥等對潔凈度要求高的行業(yè)。具備節(jié)能特性，能降低企業(yè)運(yùn)行成本，且運(yùn)行穩(wěn)定、耐用性強(qiáng)，減少故障停機(jī)，為生產(chǎn)推進(jìn)提供可靠真空動力支持。?
產(chǎn)品介紹
COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺桿真空泵
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸圖
COBRA DS 3010/3161 C/G
抽速
空氣溫度為 20°C 時， 公差：± 10%
市場和應(yīng)用
平板顯示器生產(chǎn)
Load lock 腔體
半導(dǎo)體應(yīng)用
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散
高流量應(yīng)用
ALD
PECVD
Si Poly etch
太陽能發(fā)電行業(yè)
電池制造
配件
· 備有可選粉末加工版（僅適用于 DS 3010 G 和 DS 3161 C）
· 可選鉭涂層
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